Operację łamania wykonuje się różnymi metodami, np. przez zanurzenie w cieczy w płuczce ultradźwiękowej o dużym natężeniu drgań lub przez przesuw płytki na taśmie przechodzącej przez zespół walców. Najczęściej jest stosowana technika na wpół ręczna, w której układa się płytkę zwróconą rysami do podłoża elastycznego, przykrywa się ją cienką przezroczystą folią plastykową w celu przytrzymania oraz zapobieżenia rozpryskiwaniu poszczególnych struktur, po czym przesuwa wałeczkiem po płytce równolegle do linii zarysowania i ponownie w kierunku prostopadłym. Ponieważ płytki półprzewodnikowe są zwykle bardzo cienkie, więc siła wywierana na wałeczek jest bardzo mała. Podłoże nie może być zbyt elastyczne, gdyż wówczas kierunki sił nacisku i naprężeń wywołanych uprzednio po rysowaniu nie są zgodne i płytka pęka w sposób przypadkowy. Dlatego często stosuje się jako podłoże kilkanaście arkuszy papieru lub twardej bibuły filtracyjnej. Nie jest natomiast wskazane używanie miękkiej gumy lub tworzyw piankowych. Stosunek modułu struktur na płytce do grubości płytki powinien być większy niż 3:1. Od wartości modułu uzależnia się także średnicę wałka wywołującego pikanie, np. dla modułu 0,5 mm zalecana jest średnica 1,6 mm, dla modułu zaś 1,3 mm ? średnica 3,2 mm. Dla struktur o module 4… 5 mm stosuje się wałki o średnicy 7… 10 cm. Łamanie struktur podwójnych lub poczwórnych, które często otrzymuje się przy tej technice, odbywa się za pomocą stożkowo zakończonej pincety lub trzpienia, oczywiście pod przykryciem z przezroczystej folii celofanowej lub polietylenowej.
Przeczytaj także: Uklady pompowe
Stosowane w napylarkach układy pompowe służą do odpompowywania roboczych komór próżniowych od ciśnienia atmosferycznego do ciśnienia roboczego poniżej 2 ? 10-6 hPa w każdym procesie osadzania próżniowego. Większość napylarek próżniowych jest wyposażona w dyfuzyjne układy pompowe. Stosowane obecnie dyfuzyjne układy pompowe wysokiej próżni składają się z trój- lub czterostopniowej pompy dyfuzyjnej i najczęściej dwustopniowej pompy obrotowej próżni wstępnej i niskiej oraz systemu połączeń, zaworów, próżniomierzy, czujników i przekaźników czasowych, pracujących w torach próżni wstępnej, niskiej i wysokiej. Zarówno pompa dyfuzyjna, jak i pompa obrotowa są pompami olejowymi i każda z nich, mimo stosowania systemu odrzutników i wymrażarek na ciekły azot ma pewien strumień wsteczny par oleju, który w procesach odpompowywania jest przyczyną występowania w obszarach roboczych komór próżniowych zanieczyszczeń olejowych ClH3.
